薄膜厚度是影響薄膜各種性質(zhì)及其應(yīng)用的最重要參數(shù)之一。下面和青島真空鍍膜加工小編一起聊聊吧。

    在制膜工藝中，薄膜淀積率是一個(gè)重要的參數(shù)，它直接影響到薄膜的結(jié)構(gòu)特性。

    重點(diǎn)：測(cè)量和監(jiān)測(cè)薄膜厚度。

    厚度：指兩個(gè)完全平坦的平行平面之間的距離。

    薄膜厚度理想：從基材表面到薄膜表面的距離。

    由于薄膜具有顯微結(jié)構(gòu)，其實(shí)很難嚴(yán)格定義和準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度。

    薄膜厚度的定義與測(cè)量方法和目的有關(guān)。

膜厚試驗(yàn)方法：

1.形狀膜厚：

    試驗(yàn)手段和方法:機(jī)械方法(觸針法、微計(jì)法)、光學(xué)方法(多次反射干涉法、雙光纖干涉法)、其他方法(電子顯微鏡法)

2.質(zhì)量膜厚：

    試驗(yàn)方法和方法：質(zhì)量測(cè)量法(化學(xué)平衡法、微量平衡法、扭轉(zhuǎn)平衡法、石英晶體振蕩法)、原子數(shù)測(cè)量法(比色法、X射線熒光法、離子探針法、放射性分析法)

3.物性膜厚：

    測(cè)試方法和方法:電學(xué)方法(電阻法、電容法、渦流法、電壓法)、光學(xué)方法(干涉色法、橢圓偏振法、光吸收法)